DF全主动显微探测仪，采纳高周详的活动机构实行高精度的定位。DF的三轴活动均采纳入口伺服机电，研磨丝杆以及高分辩率光栅尺组织，个中光栅尺的分辩率最高可达0.5um。行使活动掌握模块的闭环掌握，全面也许将设立反复定位精度掌握在1um之内。那末题目来了，研磨丝杆能走得直，走得平吗？惟独满盈高的直线度宁静整度，才华保证设立的绝对定位精度，这日就让咱们来考证一下。

为衡量设立活动的直线度宁静整度，咱们引进了花岗岩准则测试块和杠杆千分表。测试块的表面平坦度为1um，千分表的读数分辩率为2um。首先将测试块平放在活动平台上，调换好测试块的摆放角度，再行使磁性表座将千分表牢固好，将千分表的测针抵在测试块的一侧。活动经过中被测物体的表面的高低不平将会变动千分表的读数值，经过读数值的变动来考证活动物体的直线度宁静整度。

直线度考证

平面度考证

从视频上看，不管是直线度依旧平坦度测试，千分表读数均在2um范畴内摇动，也就考证了DF的活动机构的直线度宁静整度的精度为2um。

之因而滚珠研磨丝杆能具备微米级的直线度宁静整度，不但在于丝杆自己具备高周详性，还在于牢固丝杆的平台载体采纳了00级的花岗岩，平静性好，耐腐化，无应力变形，平坦度高，最后保证了滚珠丝杆活动的高直线度宁静整度。

END

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